氧化铝阻容露点仪的结构下图所示。氧化铝层上的电 膜可采用金、铝、铂、钯、镍铬合金等。其中钯和镍铬合金具有良好的黏附性能,而铂和金则具有化学惰性。成膜的方法一般采用喷涂法或真空镀膜法。由于水汽直接穿过电 膜进入氧化铝层,因此电 膜越薄越好。电 的导线采用细铜线或细金线,用银导电漆点粘在膜上。导线与膜应保持紧密机械接触。铝基 的导线可用铝条咬合,并用环氧树脂粘接固定。传感器的形式可以是片状或棒状,不同的形式分别采用不同的结构。敏感元件必须固定在具有电绝缘性和机械稳定性的基座上。
氧化铝阻容露点仪的核心部分是吸水的氧化铝层。研究结果并经高分辨率电子显微照片证实,氧化铝层布满相互平行且垂直于其平面的管状微孔,它从表面一直深入到氧化铝层的底部,微孔的大小差不多是相同的,并且近于均布。